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重视半导体资料:五张表让你了解半导体制作中所需的化学品
来源:塑胶模具钢 发布时间:2023-11-24
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半导体制作中需求很多的化学品来制作硅晶圆片,一起在后续工艺中需求各种化学品用于清洗、光刻、刻蚀、离子注入等工艺,本文将对半导体制作中所用的化学品进行概括,供我们参阅。
半导体制作对气体纯度要求极高,一般通用气体纯度要到达99.99999%,即7个9,特种气体要到达99.99%即4个9的纯度。
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